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特性■高速音圈電機模組可以直接將電磁力轉換為直線運動,能產生高速運動。■高精度全閉環(huán)反饋控制直接驅動和線性編碼器消除運動損失和背隙,實現(xiàn)高精度。■高響應通過與運動控制器的結合,實現(xiàn)了高響應。適用領域計量、光子學、半導體、顯示器等制造中的精密掃描
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